为什么无尘车间需要控制温度和湿度

无尘车间为什么要控制温度和湿度？首要功能和具体措施是什么？

无尘车间的温度和湿度首要根据您的加工工艺要求确认。在满足加工工艺的条件下，首先要考虑人的舒适性。跟着对空气洁净度要求的提高，工艺对温度和湿度的要求越来越高，有必要达到必定的温度和湿度水平。例如，在大规模集成电路出产的光刻曝光过程中，要求作为掩模资料的玻璃和硅片的热膨胀系数之差越来越小。当直径为100μm的硅片的温度上升1度时，它会导致0.24μm的线性膨胀，因而它有必要具有±0.1度的稳定温度。同时，湿度值一般较低，因为人们出汗后会污染产品，特别是在怕钠的半导体车间，这个车间的温度不应超越25度。高湿度会导致更多问题。当相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会构成冷凝水。假如发生在精密器件或电路中，会引起各种事故。相对湿度为50%时易生锈。

然而，关于大多数洁净空间，为了防止外部污染的侵入，有必要坚持内部压力（静压）高于外部压力（静压）。压差的保护一般应遵循以下原则：

1.高清洁度空间的压力应高于相邻低清洁度空间的压力。

2.洁净室之间的门应翻开至洁净度高的房间。

3洁净空间的压力应高于非洁净空间的压力。

压差的保持取决于新风量，新风量可补偿此压差下空隙的空气走漏。因而，压差的物理含义是走漏（或浸透）气流通过洁净室各种缝隙的阻力。

关于紊流洁净室，首要选用换气次数的概念，而不是速度的概念，因为它首要依托稀释空气来降低室内污染程度。可是，室内气流速度也要求如下：；

1、送风口出口风速不宜过大。与简略的空调房间比较，它要求衰减更快，扩散角更大。

2.水平面上吹出的气流速度（如侧进料时的回流速度）不宜太大，避免将表面颗粒吹回气流形成二次污染。一般来说，该速度不应太干0.2m/s。

在中国，空气净化技术措施和洁净厂房设计规范就是这样规定的

垂直平行流（层流）洁净室≥ 0.25m/s

水平平行流（层流）洁净室≥ 0.35米/秒

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